在工業(yè)高新技術(shù)高速發(fā)展的今天,,運用激光成像原理的掃描振鏡是較為廣泛運用的一種設(shè)備,。它具有優(yōu)良的光學(xué)性能,能夠通過簡單的鏡片旋轉(zhuǎn)和控制器的控制完成復(fù)雜的物體表面的掃描和投影,。所以控制方式和掃描速度是決定一個振鏡系統(tǒng)速度和精度的重中之重,。但是傳統(tǒng)的振鏡系統(tǒng)發(fā)展不全面,結(jié)構(gòu)復(fù)雜繁瑣,,效率和抗干擾能力也有所欠缺,。本課題采用集成化的設(shè)計,,以減小控制系統(tǒng)的尺寸以及功耗,,同時還可以研究線性度等參數(shù)的關(guān)系,,提高控...